De acordo com a DIN EN ISO 14644-3, a capacidade do sistema de ventilação de uma sala limpa de manter a temperatura do ar e a umidade do ar (dadas como umidade relativa) dentro dos valores-limite necessários para a aplicação deve ser testada. A temperatura ambiente e a umidade do ar influenciam processos como a expansão ou endurecimento de materiais, o crescimento de microrganismos, bem como a desintegração, corrosão e formação de ferrugem, e podem, portanto, danificar o produto fabricado na sala limpa. Por esse motivo, uma medição precisa da temperatura e da umidade relativa do ar na sala limpa é de grande importância. Além disso, a intensidade da luz, o nível sonoro e o conforto também devem ser medidos em todos os lugares da sala.
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