多级过滤和大风量可确保洁净室内空气的纯净度。 关于洁净室的通气和通风方式，有两种基本的洁净室系统。 可使用湍流或低湍流。 对于采用湍流稀释流的洁净室，过滤后的洁净空气以湍流的方式进入洁净室，然后抽出 "混合空气"。 这样就能持续稀释颗粒浓度。 为了达到更高的空气交换率，在 ISO 1 至 ISO 5 级洁净室中需要使用层流洁净室。 在这种情况下，使用的是连续的低湍流位移流。 因此，流速、总流量和计算出的空气交换率是洁净室的关键参数。 DIN EN ISO 14644-3 标准规定了如何在湍流和低湍流中进行测量的规则。
通过测量洁净室的流速和流量，遵守有关室内空气质量的准则和规定
通过总体积流量确定有湍流混合气体的工厂的空气交换率
符合 DIN EN ISO 14644:2005 第 3 部分标准的测量技术