Laut DIN EN ISO 14644-3 muss kontrolliert werden, ob die Fähigkeit des Lüftungssystems des Reinraums, Lufttemperatur und Luftfeuchte (angegeben als relative Feuchte) innerhalb der für die Anwendung notwendigen Grenzwerte liegt. Die Umgebungstemperatur und Luftfeuchtigkeit beeinflussen Vorgänge wie die Ausdehnung oder das Erhärten von Materialien, das Wachstum von Mikroorganismen sowie Zersetzung, Korrosion und Rostbildung und können dadurch das im Reinraum hergestellte Produkt schädigen. Daher ist eine präzise Messung der Temperatur und der relativen Luftfeuchtigkeit im Reinraum von hoher Bedeutung. Zusätzlich sollten die Beleuchtungsstärke, der Schallpegel und die Behaglichkeit überall im Raum gemessen werden.

• Sicherstellung einer regelkonformen Lufttemperatur und Luftfeuchte mit hochgenauen Sonden

• Zusätzlich: Einfache und zuverlässige Messung der Beleuchtungsstärke und des Geräuschpegels im Reinraum

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